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<p>在芯片生产过程中，光刻机无疑是最为关键的核心设备之一。一直以来，荷兰ASML公司都在全球的光刻机市场一家独大，国内企业只能艰难追赶。</p><p> <img src="https://inews.gtimg.com/newsapp_bt/0/13619991150/641"/> </p><p>国产取得突破</p><p>虽然在高端EUV光刻机市场，ASML垄断了绝大部分市场份额，但这并不代表国内厂商丝毫没有机会。</p><p>近日，国内最大的光刻机厂商上海微电子便传出好消息，<STRONG>公司研发的28nm光刻机将在2021年内交付。这意味着，国产光刻机将迎来重大突破。</STRONG></p><p><img src="https://inews.gtimg.com/newsapp_bt/0/13619991146/641"/> </p><p>自2002年成立以来，上海微电子已经在光刻机市场的多个细分领域取得了突破，累计申请的专利超过2400项。</p><p>目前，<STRONG>上海微电子已经可以量产90nm及以上工艺制程的光刻机，实现了国产光刻机从0到1的突破；</STRONG>在封测环节，上海微电子的封装光刻机也已经实现批量出货，成为日月光等行业头部企业的供应商。</p><p><img src="https://inews.gtimg.com/newsapp_bt/0/13619991147/641"/> </p><p>目前，受芯片缺货潮影响，全球范围内的晶圆代工厂商都拉满产能。其中，28nm等成熟工艺制程的产能尤为紧张，<STRONG>如果上海微电子真的能够尽快推动28nm光刻机的出货，这将进一步提高国内半导体企业在全球市场的话语权。</STRONG></p><p>日企掐断关键原料</p><p>虽然光刻机对于芯片生产至关重要，但光刻机的生产过程还离不开一项关键原材料，这便是光刻胶。因此，上海微电子在光刻机领域取得的突破固然可喜，但国内产业界也不能忽视光刻胶的卡脖问题。</p><p>在全球光刻胶市场，日企占据了绝对优势，<STRONG>JSR、东京应化、信越化学等巨头垄断了全球超过85%的市场份额，国内企业也只能依赖进口。</STRONG></p><p><img src="https://inews.gtimg.com/newsapp_bt/0/13619991144/641"/> </p><p>不过，根据多家媒体的最新消息，<STRONG>由于光刻胶产能紧张，信越化学等不得不停止向国内供应KrF光刻胶，国内多家晶圆厂面临“无胶可用”的窘境。</STRONG></p><p>产能紧张、进口光刻胶价格上涨等，都在倒逼国产光刻胶加快发展速度，尽快补齐行业空白。<STRONG>从2020年至今，晶瑞股份、南大光电、彤程新材等国产光刻胶龙头企业，陆续在KrF光刻胶方面取得突破。</STRONG></p><p><img src="https://inews.gtimg.com/newsapp_bt/0/13619991142/641"/> </p><p>比如，晶瑞股份研发的KrF光刻胶已经完成中试，正在进入客户测试阶段；彤程新材的ArF光刻胶已经通过专项验收，开始在国内多家晶圆厂导入应用。</p><p>综合来看，日企的断供推动了国产光刻胶的研发、应用进度，配合国产光刻机取得的突破，“中国芯”的春天将加速到来。</p><p>文/禹汐 审核/子扬 校对/知秋</p><br>来源：<a href="https://xw.qq.com/cmsid/20210606A053WX00" target="_blank">https://xw.qq.com/cmsid/20210606A053WX00</a><br>免责声明：如果侵犯了您的权益，请联系站长，我们会及时删除侵权内容，谢谢合作！ | 
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